WAT-226 高功率晶圓測試係統（tǒng）

WAT-226高功率晶圓測試係統采（cǎi）用密閉腔體形（xíng）式，將運動構件、製熱構件、製冷構件以及測試使用的晶圓卡盤、探針台、探針臂等部件集中在密（mì）閉腔體中，構建（jiàn）安全、穩定的功（gōng）率器件晶圓級測試環境，滿足高溫、低溫、高壓、高流等極端條（tiáo）件的安全（quán）測試要求，保護器件（jiàn）不被（bèi）氧化（huà）、結露、結霜、電弧擊穿等（děng）物理破壞及汙染。