全自動晶圓光電測試係統
WIT-220AL

WIT-220AL全自動(dòng)晶(jīng)圓光電測試係統綜合考(kǎo)慮穩定性、電噪聲處理、空(kōng)間布局等設計要求,采用精密(mì)運動控製係統,高性能隔振(zhèn)係統,結合自主研發圖像軟件算法,實現高(gāo)穩(wěn)定性小模斑(bān)芯片光性(xìng)能和高精度電性能測(cè)試,支持全自動晶圓光柵耦合或者端麵耦(ǒu)合測試,能夠滿足高精密光測試指標以及pA級別電信號測量應用需(xū)求。可提前(qián)在晶圓級別篩選不(bú)良芯片,防止流入(rù)後(hòu)端工藝,大幅度節約整體封測成(chéng)本,提高生產(chǎn)效率。目前已批量(liàng)在國內外客戶產線量產應用。


產品特點(diǎn)

〇    機器視(shì)覺全自(zì)動校準

〇    探針/探(tàn)針卡自動壓接

〇    支持快速自動找光

〇    支持任意小模斑芯片GC/EC測試

〇    晶圓尺寸2~12inch可定製

〇    溫(wēn)度範圍-40℃~125℃(支持定製更寬範圍)

〇    自動上下料、自動缺陷(xiàn)檢測(cè)等

〇    可選端到端測(cè)試解決方案服務


產品(pǐn)應用

該係統主要麵向矽光、薄膜铌酸鋰、III-V族晶圓等(děng)領域,支持OO、OE、EE測試;光(guāng)測試兼容SMF、Lens Fiber、FA多 種形態;電測試兼容探(tàn)針座或探(tàn)針卡,滿足研發及(jí)量產多種應用場景測試需求。

技術參數

基(jī)本參數

晶圓尺寸

2~12inch可定(dìng)製,分區設(shè)計

上料方式

自動

上料類型

Cassette/FOUP

測試數量(liàng)

25~50pcs/次

Wafer-ID

OCR自(zì)動(dòng)識別Wafer-ID,生成Wafer Map圖

輔助Chuck

實現自動清針、RF校準、FA校準、PD功(gōng)率/偏振校準等

單針打標

自清潔

√(用於清潔晶圓、Chuck、探針、FA)

實時探高

Chuck高度校準(zhǔn)

Chuck定位精度

±2μm

溫度範圍(wéi)

-40℃~125℃(支持更寬溫度範圍定製)

光性能參數

光纖(xiān)類型

SMF

Lens fiber

FA

耦光重複性

≤0.3dB(典型值)

耦合穩(wěn)定性

0.3dB/5mins(典型值)

耦合效率

≤2s

耦合方式

螺旋耦合/十字耦合/矩陣耦合/快(kuài)速3D等

入(rù)射角掃描

Sensor防撞

電性能(néng)參數(shù)

集成探針個數

支(zhī)持定製

加電類型

DC/RF

加電方(fāng)式

探針/探針卡

探針類型

懸(xuán)臂針(zhēn)/垂直針

清(qīng)針類型

自(zì)動

軟件

權限管理

區分研發/生產不同角色(sè)管理權限

可執(zhí)行腳本

支持用戶用python或(huò)其他語言自己編寫測試算法邏輯

國際化

支持英文、簡體中(zhōng)文、繁體中(zhōng)文

數據存儲

支(zhī)持MES係統銜接、數據庫(kù)存儲(chǔ)等

圖形化界麵(miàn)

支持工藝參數實時監控(kòng)與曆史數據追溯


產品特點

產品應用

技術參數

您有什麽疑問嗎?

ETERNAL技術團隊隨時為您服務!

電話:(+86) 027-87001679

郵箱:sales@sxoutdoor.com

您可能還對以下(xià)設(shè)備感(gǎn)興趣(qù)