WAT-226高（gāo）功率晶（jīng）圓測試係統采用密閉腔體形式，將運動構件、製熱構件、製冷構件以及（jí）測試使用的晶（jīng）圓卡盤、探針台、探針臂（bì）等部（bù）件（jiàn）集中在密閉腔體中，構建安（ān）全、穩定的功率器件晶圓級（jí）測試環境，滿足高溫、低溫、高壓（yā）、高流等（děng）極端條件的安全測試要（yào）求（qiú），保（bǎo）護器件不被氧化（huà）、結露、結霜、電弧擊穿等物理破（pò）壞及汙染。