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全(quán)自動芯片測試係統
CA-6000AL

CA-6000AL全自動芯片測試係統是一款為矽光、薄(báo)膜铌酸鋰、III-V族等(děng)領域芯片測試(shì)設計的高(gāo)精度自動化設備。該設備主要適用於晶圓切割後芯片的拾取、定位、測試及分選(xuǎn)工作。其采(cǎi)用全自動化操作流程,可對芯片進行高速、高精(jīng)度測試,將單芯片平均測試時間壓縮至秒級以內,較傳統方式效率大幅度(dù)提升,為封測領域帶(dài)來新的發展動力。

產品特點

〇    納米級機械定位精(jīng)度

〇    上下料支持藍膜(mó)或者芯片吸附盒多種形態

〇    集成純光測試/純電測試/光電混合測試/RF測試

〇    溫度穩定性高,穩定性≤±0.2℃

〇    快(kuài)速算法優化,減少無(wú)效等待時(shí)間

〇    具備(bèi)自(zì)動校準、實時故障診斷及預測性維護(hù)功能

〇    實現芯片全流程自動化測(cè)試與智能化數(shù)據分析

〇    全自動芯片搬(bān)運係統,實現快速抓取(qǔ)、定位、測試及分選

〇    支持耦合(hé)單通道、四通道、八通道(dào)芯片測試,耦合(hé)精度高

〇    並行測試技術,顯著提升測試效率,降低單顆芯片(piàn)測試(shì)成本

產品應用

該係統適用於多種類(lèi)型無源/有源芯(xīn)片(piàn)、Bar條等,滿足量產及研發(fā)等多種應用場景,配合儀(yí)表可實現(xiàn)OO/OE/EE及高頻相關參(cān)數測試。

技術參數

基本參(cān)數

藍膜尺寸

12inch向下兼容

上下料方(fāng)式(shì)

支(zhī)持藍膜塑料環/藍膜鐵環/芯片吸附盒等(děng)多種形(xíng)態組合上下料方式

芯片尺寸

可兼容(róng)替換不同尺寸(cùn)吸嘴及載物(wù)台,滿足自動測試要求

OCR識別

自動識別Chip-ID,生成熱力圖

支持測試分選

光纖類型

SMF/Lens fiber/FA

耦光重複性

0.3dB(典型值)

耦合穩定性

0.3dB/5mins(典型值)

耦合最小分辨率(lǜ)

50nm(可定製更高分辨率)

耦合(hé)方式

GC/EC

自(zì)動對(duì)光功能

Sensor防(fáng)撞

光纖類型(xíng)

SMF/Lens fiber/FA

藍膜尺寸

12inch向(xiàng)下兼容

溫度參數(shù)

控溫方式

TEC

控溫範圍

-10℃~125℃(支(zhī)持更寬(kuān)範圍定製)

環境溫度一致性

±1℃

環境溫(wēn)度穩定性

±0.5℃

功能特性(xìng)

自動加電功能(néng)

加電類型

DC/RF

集成探針個數

支持定製

加電(diàn)方式(shì)

探針(zhēn)/探針卡

探針類型

懸臂針/垂直針

清(qīng)針類型

手動/自動

探針卡紮針精度

±2μm

產品特點

產品應(yīng)用

技術參數

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