產品應用

Inline晶圓台的設計需（xū）要綜合考慮平整度、穩定性、材料選擇、熱管（guǎn）理、電磁兼容性、真空兼容（róng）性、傳輸機製、清潔與維護、傳感器集（jí）成（chéng）、自動（dòng）化與集成以及安全性與可靠性等多（duō）個方麵，以確保其高效、穩定地運行，並滿足半導體製造的需求。